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   专用技术延长全量程冷阴极真空规的使用寿命

发布日期：2016-03-14     发布人：shirley.xie

VSM 1000到5x10^-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极

在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2x10^-3mbar。

一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的最小压力10^-6mbar。

我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来监控最小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10^-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。

在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到最小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。